MEMS
Sistemas microelectromédicos (MEMS)son versiones integradas y miniaturizadas de los sistemas mecánicos y eléctricos existentes, y también es posible utilizar estos sistemas de tamaño micrométrico para
nanotecnologíaaplicaciones a través de
sistemas nanoelectromecánicos(NEMS)
[1]. El concepto de MEMS se pronunció por primera vez durante un
microdinámicataller en 1987. Sin embargo, la aparición del concepto de MEMS se produjo principalmente a la luz de la evolución de la situación en
microchipObras. Entre estos desarrollos, el moldeo, las tecnologías de recubrimiento, los métodos de tallado húmedo, los métodos de tallado en seco han hecho posible la construcción de microdispositivos. La primera idea para hacer pequeños dispositivos fue propuesta por un físico de renombre.
Richard Feynmanen un discurso de 1959 llamado
Hay mucho espacio en la parte inferior.Las dimensiones de los sistemas microelectromecánicos varían entre 1 y 100
Micrómetros.Las reglas estándar de física en estos tamaños pequeños generalmente no son válidas. En las estructuras MEMS, la relación entre el área de superficie y el volumen es bastante alta, por lo que los efectos de la superficie
(fuerzas electrostáticas,humectación)efectos de volumen dominante
(inercia,masa térmica).Las estructuras de sistemas microelectromecánicos constan de tres partes. Estas secciones se pueden resumir como la sección mecánica, la sección de accionamiento que ejecuta la sección mecánica y la sección de detección que examina el comportamiento del movimiento mecánico. Los mecanismos de accionamiento MEMS varían según el tipo de accionamiento dado. Las estructuras MEMS pueden ser térmicamente, electrostáticamente, magnéticamente, neumáticas y ópticamente accionadas. La detección generalmente se realiza a través de señales ópticas y electrónicas. MEMS es un concepto interdisciplinario en el que los estudios que cubren muchas ramas, especialmente Maquinaria-Material-Electrónica, se llevan a cabo principalmente junto con todas las ramas de la ingeniería y las ciencias básicas.
