MEMS
Sistemas microelectrométicos (MEMS)son versiones integradas y miniaturizadas de los sistemas mecánicos y eléctricos existentes, y también es posible utilizar estos sistemas de tamaño micrométrico para
nanotecnologíaaplicaciones a través de
Sistemas nanoelectromecánicos(NEMS)
[1]. El concepto de MEMS se pronunció por primera vez durante una
Microdinámicataller en 1987. Sin embargo, el surgimiento del concepto de MEMS se produjo principalmente a la luz de los avances en
microchipObras. Entre estos desarrollos, el moldeo, las tecnologías de recubrimiento, los métodos de tallado en húmedo y los métodos de tallado en seco han hecho posible la construcción de microdispositivos. La primera idea para fabricar pequeños dispositivos fue propuesta por un físico de renombre
Richard FeynmanEn un discurso de 1959 llamado
Hay mucho espacio en la parte inferior.Las dimensiones de los sistemas microelectromecánicos varían entre 1 y 100
Micrómetros.Las reglas de física estándar en estos tamaños pequeños suelen ser inválidas. En las estructuras MEMS, la relación entre el área de superficie y el volumen es bastante alta, por lo que los efectos de la superficie
(fuerzas electrostáticas,mojado)Domina los efectos de volumen
(inercia,masa térmica).Las estructuras de los sistemas microelectromecánicos constan de tres partes. Estas secciones se pueden resumir como la sección mecánica, la sección de accionamiento que ejecuta la sección mecánica y la sección de detección que examina el comportamiento del movimiento mecánico. Los mecanismos de accionamiento MEMS varían en función del tipo de accionamiento dado. Las estructuras MEMS pueden ser accionadas térmicamente, electrostáticamente, magnéticamente, neumáticamente y ópticamente. La detección se realiza generalmente a través de señales ópticas y electrónicas. MEMS es un concepto interdisciplinario en el que se realizan principalmente estudios que abarcan muchas ramas, especialmente Maquinaria-Material-Electrónica, junto con todas las ramas de la ingeniería y las ciencias básicas.
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