Solución de limpieza húmeda Smartnoble: Limpieza de precisión para exigentes necesidades de microfabricación

En la microfabricación avanzada y la producción de dispositivos infrarrojos (IR), la limpieza superficial es fundamental para el rendimiento y la fiabilidad. El sistema de limpieza húmeda de última generación de Smartnoble está diseñado específicamente para eliminar residuos orgánicos, iones metálicos y contaminación por partículas a niveles de micras y submicras, especialmente en procesos complejos de envasado de semiconductores y optoelectrónicos.
Este equipo es ideal para aplicaciones en procesamiento de obleas InSb, fabricación de dispositivos MCT (HgCdTe/InGaSb), ensamblaje Dewar y otras etapas de limpieza crítica. Diseñado para soportar tanto la limpieza automática por inmersión como las operaciones de limpieza manual, garantiza una flexibilidad excepcional y un control de procesos en sustratos de alto valor y componentes de precisión.

Características principales y aspectos técnicos destacados

• Configuración dual: módulos de limpieza automáticos y manuales

1. El módulo automático soporta la eliminación de fotorresist, el grabado y el revelado post-exposición
2. El módulo manual integra pulverización, burbujeo, agitación ultrasónica y oscilación del sustrato para mejorar la limpieza de geometrías complejas
3. El diseño modular soporta obleas o portadores de 6 y 8 pulgadas, con opciones de disposición personalizables

• Control inteligente de procesos

1. Monitorización en tiempo real de concentraciones químicas, dosificación, niveles de agua de enjuague y condiciones del tanque
2. Control automatizado de temperatura, temporización e intercambio de fluidos
3. Compatible con plataformas Ethernet industriales e IIoT para una integración fluida con sistemas inteligentes de fábrica

• Compatibilidad y fiabilidad certificada para salas limpias

1. Diseñado para entornos de sala limpia de clase 100–1.000
2. Estructura segura para ESD, resistente a la corrosión, con un alto tiempo de funcionamiento del sistema y bajo mantenimiento
3. Totalmente conforme a las normas internacionales de fabricación (por ejemplo, ISO, IATF)