Solución de limpieza en húmedo Smartnoble: limpieza de precisión para las exigentes necesidades de microfabricación

En la microfabricación avanzada y la producción de dispositivos infrarrojos (IR), la limpieza de la superficie es fundamental para el rendimiento y la fiabilidad. El sistema de limpieza en húmedo de última generación de Smartnoble está diseñado específicamente para eliminar residuos orgánicos, iones metálicos y contaminación por partículas a niveles micrométricos y submicrométricos, especialmente en procesos complejos de empaquetado optoelectrónico y de semiconductores.
Este equipo es ideal para aplicaciones en el procesamiento de obleas InSb, fabricación de dispositivos MCT (HgCdTe/InGaSb), ensamblaje Dewar y otras etapas críticas de limpieza. Diseñado para soportar tanto la limpieza automática por inmersión como las operaciones de limpieza manual, garantiza una flexibilidad excepcional y un control de procesos en sustratos de alto valor y componentes de precisión.

Características principales y aspectos técnicos destacados

• Doble configuración: módulos de limpieza automática y manual

1. El módulo automático admite la eliminación de fotorresistencia, el grabado y el revelado posterior a la exposición
2. El módulo manual integra pulverización, burbujeo, agitación ultrasónica y oscilación del sustrato para mejorar la limpieza de geometrías complejas
3. El diseño modular admite obleas o portadores de 6 y 8 pulgadas, con opciones de diseño personalizables

• Control inteligente de procesos

1. Monitoreo en tiempo real de las concentraciones de productos químicos, la dosificación, los niveles de agua de enjuague y las condiciones del tanque
2. Control automatizado de la temperatura, el tiempo y el intercambio de fluidos
3. Compatible con plataformas industriales Ethernet e IIoT para una integración perfecta con sistemas de fábrica inteligentes

• Compatibilidad y confiabilidad certificadas para salas limpias

1. Diseñado para entornos de salas limpias de clase 100-1.000
2. Estructura resistente a la corrosión y a las descargas electrostáticas, con un alto tiempo de actividad del sistema y bajas necesidades de mantenimiento
3. Totalmente compatible con los estándares internacionales de fabricación (por ejemplo, ISO, IATF)