Smartnoble Máquina biseladora de bordes de oblea totalmente automática de alta precisión
La máquina biseladora automática de bordes de obleas Smartnoble es una solución de procesamiento de alta precisión diseñada específicamente para la etapa de fabricación de obleas en la industria de semiconductores. Da forma con precisión a obleas no circulares o de bordes rugosos en obleas circulares estándar mientras realiza un biselado preciso de los bordes. Este equipo desempeña un papel fundamental en la mejora del rendimiento de las obleas y en la garantía de la seguridad de la producción.
El sistema combina una muela abrasiva de alta velocidad con una plataforma de control de movimiento de precisión para ofrecer un biselado de bordes eficiente y uniforme. Las obleas se colocan en una etapa rotativa, donde la molienda se aplica bajo presión y distancia monitoreadas en tiempo real, lo que permite el procesamiento adaptativo para obleas de diversos materiales y condiciones.
Esta máquina es ideal para el procesamiento de obleas, el preenvasado de circuitos integrados y la reconstrucción de obleas, especialmente para sustratos frágiles como SiC y GaN.
Características principales
- Admite diámetros de oblea de hasta 120 mm, ideal para tamaños de obleas convencionales.
- Maneja espesores de oblea de 0,7 a 1,1 mm, compatible con varios materiales, incluidos SiC y GaN.
- Equipado con una muela abrasiva de alta velocidad que funciona a hasta 6000 rpm para una eficiencia y precisión equilibradas.
- Logra una tolerancia de ancho de chaflán de ±50 μm y una precisión de diámetro de ±30 μm.
- Utiliza una plataforma de accionamiento de precisión y una mesa de trabajo giratoria para garantizar un biselado uniforme completo de 360°.
- Entrada/salida de obleas totalmente automatizada, compatible con sistemas de producción en línea.
Smartnoble continúa empoderando a los fabricantes de semiconductores con precisión, confiabilidad y eficiencia, maximizando el rendimiento de la producción y minimizando la variabilidad del proceso.
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