Smartnoble máquina de biseflaje totalmente automática de borde de oblea de alta precisión
La Máquina Automática de Biselado de Bordes de Obleas Smartnoble es una solución de procesamiento de alta precisión diseñada específicamente para la etapa de fabricación de obleas en la industria de semiconductores. Modela con precisión obleas no circulares o de bordes ásperos en obleas circulares estándar mientras realiza un bisfilado preciso de los cantos. Este equipo desempeña un papel fundamental en mejorar el rendimiento de las obleas y garantizar la seguridad en la producción.
El sistema combina una muela de rectificado de alta velocidad con una plataforma de control de movimiento de precisión para ofrecer un biselado eficiente y uniforme del filo. Las obleas se colocan en una etapa rotativa, donde se aplica el rectificado bajo presión y distancia monitorizadas en tiempo real, permitiendo un procesamiento adaptativo para obleas de diversos materiales y condiciones.
Esta máquina es ideal para el procesamiento de obleas, el preempaquetado de circuitos integrados y la reconstrucción de obleas, especialmente para sustratos frágiles como SiC y GaN.
Características principales
- Soporta diámetros de obleas de hasta 120 mm, ideal para tamaños de obleas convencionales.
- Maneja un grosor de oblea de 0,7 a 1,1 mm, compatible con varios materiales como SiC y GaN.
- Equipado con una muela de rectificado de alta velocidad que funciona hasta 6000 rpm para una eficiencia y precisión equilibradas.
- Alcanza una tolerancia de ancho de bisellón de ±50 μm y una precisión de diámetro de ±30 μm.
- Utiliza plataforma de accionamiento de precisión y mesa de trabajo rotatoria para asegurar un biselado uniforme de 360°.
- Entrada/salida de obleas totalmente automatizadas, compatibles con sistemas de producción en línea.
Smartnoble sigue capacitando a los fabricantes de semiconductores con precisión, fiabilidad y eficiencia, maximizando el rendimiento de producción y minimizando la variabilidad del proceso.
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